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Les micro et nanotechnologies regroupent les sujets concernant l'architecture, la caractérisation, la production de structures et de systèmes à l'échelle du micron ou du nanomètre (ce qui correspond à une longueur équivalente à quelques dizaines/centaines d'atomes). Depuis l'avénement de la micro-électronique dans les années 1960, ce domaine n'a cessé de prendre de l'ampleur, aussi bien dans le domaine des sciences et de la recherche, que dans la vie quotidienne (avec la micro-informatique et la téléphonie mobile, notamment). Les progrès technologiques successifs ont permis l'émergence d'un nouveau domaine : les nanotechnologies. Elles ouvrent de nombreuses perspectives très prometteuses à l'intersection de la physique, de la technique, de la chimie, de la biologie et de la médecine.

Lumière sur...

La microscopie électronique à balayage (ou MEB) est une technique de microscopie électronique basée sur le principe des interactions électrons-matière, capable de produire des images en haute résolution de la surface d'un échantillon.

Basé sur les travaux de Max Knoll et Manfred von Ardenne dans les années 1930, le principe du MEB consiste en un faisceau d'électrons balayant la surface de l'échantillon à analyser qui, en réponse, réémet certaines particules. Ces particules sont analysées par différents détecteurs qui permettent de reconstruire une image en trois dimensions de la surface.

C'est dans l'industrie des semi-conducteurs que le MEB s'est répandu le plus massivement, étant reconnu comme un outil précieux dans la mise au point des procédés de fabrication des dispositifs dont l'élément caractéristique, la grille de transistor est passée d'une largeur typique de quelques micromètres à la fin des années 1960 à moins de 100 nanomètres au XXI^e siècle. Non seulement le MEB a permis de voir au-delà des limites du microscope optique, mais la vision en relief s'est avérée très pratique pour l'aide à la microfabrication où il est souvent important de contrôler la verticalité des couches déposées ou des couches gravées.

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