SU-8

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Le SU-8 est un photorésist négatif couramment utilisé. Il s'agit d'un polymère très visqueux qui peut être tourné ou étalé sur une épaisseur allant de 1 micromètre à 2 millimètres. Il peut aussi être utilisé pour réaliser le motif de structures à ratio élevé (> 20)[1]. Son pic d'absorption maximale se situe dans l'ultraviolet, pour une longueur d'onde de 365 nm. Lorsqu'il est exposé, les longues chaînes moléculaires du SU-8 réticulent ce qui solidifie le matériau.

Le SU-8 est principalement utilisé dans la fabrication de composants microfluidiques ou de MEMS. Il s'agit également de l'un des matériaux les plus bio-compatibles, ce qui explique pourquoi il est souvent utilisé dans les bio-MEMS.

[modifier] Notes et références

  • (en) Cet article est partiellement ou en totalité issu d’une traduction de l’article de Wikipédia en anglais intitulé « SU-8 photoresist ».
  1. ↑ J. Liu et al., Process research of high aspect ratio microstructure using SU-8 resist, vol. 10 (4), Microsystem Technologies, 2004, p. 265
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