Image:Lithographie EUV.jpg

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Description

La technologie EUV (Extreme UltraViolet) avec masques en reflexion permet une finesse de gravure de 45 nm
Source

Nanocomputers and Swarm Intelligence, Jean-Baptiste Waldner, ISTE, London, 2007, ISBN 9781847040022
Date

June 2007
Author

JB Waldner
Permission
(Reusing this image)

Author

[edit] Licensing

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actuel24 juin 2007 à 11:07317×340 (34 Kio)Jbw ({{Information |Description= |Source= |Date= |Author= |Permission= |other_versions= }} )

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