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Wafers
Des wafers.


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Physique des semi-conducteurs

Matière condensée Matière condensée et Cristallographie

Cristal · Espace réciproque · Isolant · Liquide de Fermi · Loi de Bragg · Maille (cristallographie) · Métal · Phonon · Polymère · Quasi-cristal · Théorie des bandes · »

Polymères

Monomère · Polymère · Macromolécule · Polydimethylsiloxane (PDMS) · Polyméthacrylate de méthyle (PMMA) · Polyéthylène téréphtalate (PET) · Macrogol (Polyéthylène glycol, PEG) · Température de transition vitreuse · Polymérisation radicalaire · Radical libre

Physique du solide

Liaison chimique · Force de van der Waals · Liaison covalente · Liaison hydrophobe · Liaison hydrogène · Liaison ionique · Liaison métallique · Physique quantique · Mécanique hamiltonienne · Onde de Bloch

Matériaux de la micro-électronique

Semiconducteurs intrinsèques : Silicium · Germanium ·

Semiconducteurs III-VArséniure de gallium · Phosphure d'indium · Carbure de silicium · Silicium-germanium · Arséniure de gallium/aluminium · Arséniure d'aluminium · Silicium sur isolant · Silice

Physique des semiconducteurs

Électron · Trou d'électron · Bande de valence · Bande de conduction · gapBande d'énergie · Théorie des bandes


Techniques d'élaboration des dispositifs à semi-conducteurs

Procédés de fabrication des matériaux semiconducteurs

Wafer · Procédé Czochralski · Épitaxie · Épitaxie par jets moléculaires

Gravure

Gravure ionique réactive · RIE · DRIE · Procédé Bosch

Dopage

Implantation ionique

Dépôts

Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) · Corrosion à haute température · Oxydation du silicium · Diffusion de la matière · lift-off · Dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD) · Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) · Dépôt chimique organo-métallique en phase vapeur (MOCVD) · Évaporation sous vide · Oxydation du Silicium

Transfert de motif

Photolithographie · Résine photosensible · Machine d'alignement · Dépôt à la tournette (Spin-coating)

SU-8 Procédé sol-gel

Électrochimie

Réaction d'oxydo-réduction · Cinétique électrochimique · Corrosion

Modification de surface

Fonctionnalisation de surface · Angle de contact · Mouillage sur une surface · Surfactant · Énergie de surface · Silane · Silanisation


Caractérisation

Caractérisation structurale

Microscopie électronique en transmission · SIMS · Microscopie électronique à balayage · Canon à électrons · Lentille magnétique · Photomultiplicateur · Profilométrie · Microscopie à force atomique

Caractérisation chimique

Microsonde de Castaing · Analyse dispersive en longueur d'onde · WDS · Analyse dispersive en énergie · EDS · Ellipsométrie · Spectroscopie · Spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier (FTIR) · Résonance magnétique nucléaire (RMN) · Résonance paramagnétique électronique (RPE)



Techniques du vide: Vide · Pompe à vide


Microsystèmes

Microsystème électromécanique · MEMS · MOEMS · Procédé LIGA


Applications

Physique pour la biologie et la chimie

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Applications de la physique quantique
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